純鎳腔體
實(shí)驗(yàn)室的純鎳腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 Pa時(shí)，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進(jìn)行長時(shí)間烘烤。烘烤過程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤，這時(shí)的腔體只靠分子泵和前泵來排氣。隨著腔體溫度的升高，腔體表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會(huì)惡化。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的增加而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時(shí)，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清掉吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以讓鈦升華泵的正常工作。完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵，增加真空排氣的力度。隨著排氣力度的增加和由于腔體溫度減少而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會(huì)很快好轉(zhuǎn)。
